Tá táthú léasair ar cheann de na gnéithe tábhachtacha d’fheidhmchlár na teicneolaíochta próiseála léasair, ach is í an teicneolaíocht táthú is tarraingtí agus is geallta sa 21ú haois í freisin. I gcomparáid le modhanna táthú traidisiúnta, tá go leor buntáistí ag baint le táthú léasair, cáilíocht táthú níos airde agus éifeachtúlacht níos tapúla. Faoi láthair, tá teicneolaíocht táthú léasair in úsáid go forleathan i ndéantúsaíocht, miotalóireacht púdair, tionscal na ngluaisteán, tionscal na leictreonaice, bithleighis agus réimsí eile.
De réir mheicníocht fhoirmithe linn táthúcháin, tá dhá mheicníocht bhunúsacha táthúcháin ag táthú léasair: táthú seoltachta teasa agus táthú treáite domhain (poll beag). Déantar an teas a ghintear trí tháthú seoltachta teasa a scaipeadh ar an bpíosa oibre trí aistriú teasa, ionas go leáítear dromchla an táthú, gan aon feiniméan galúcháin i gceist go bunúsach, rud a úsáidtear go minic i dtáthú comhpháirteanna balla tanaí ísealluais. Galaíonn táthú comhleá domhain an t-ábhar agus cruthaíonn sé méid mór plasma. Mar gheall ar an teas mór, beidh poill i dtosach na linne leáite. Is féidir le táthú treáite domhain an píosa oibre a tháthú go críochnúil, agus tá an fuinneamh ionchuir mór, tá an luas táthúcháin tapa, an modh táthúcháin léasair is mó a úsáidtear.
Tá go leor paraiméadair phróisis ann a mbíonn tionchar acu ar cháilíocht táthú léasair, amhail dlús cumhachta, tonnfhoirm cuisle léasair, dífhócas, luas táthú agus gás séidte cúnta.
1. Dlús cumhachta léasair Tá dlús cumhachta ar cheann de na paraiméadair is criticiúla i bpróiseáil léasair. Le dlús cumhachta níos airde, is féidir an ciseal dromchla a théamh go dtí an fiuchphointe laistigh de raon ama micreashoicind, rud a ghineann méid mór galúcháin. Dá bhrí sin, tá an dlús cumhachta ard an-bhuntáisteach le haghaidh próiseála bainte ábhair, amhail pollta, gearradh agus greanadh. I gcás dlús cumhachta íseal, tógann sé roinnt milleasoicindí ar theocht an dromchla an fiuchphointe a bhaint amach, agus sula ngalaíonn an ciseal dromchla, sroicheann an ciseal bun an pointe leá, rud a fhágann go bhfuil sé éasca táthú comhleá maith a dhéanamh. Dá bhrí sin, sa táthú léasair seoltachta teasa, is é 104-106W/cm2 an raon dlús cumhachta.
2. Tonnfhoirm cuisle léasair
Ní hamháin gur paraiméadar tábhachtach é tonnfhoirm cuisle léasair chun idirdhealú a dhéanamh idir baint ábhair agus leá ábhair, ach is paraiméadar lárnach é freisin chun méid agus costas trealaimh phróiseála a chinneadh. Nuair a bhuaileann bhíoma léasair ard-déine dromchla an ábhair, beidh 60 ~ 90% de fhuinneamh an léasair ag machnamh agus ag cailleadh ar dhromchla an ábhair, go háirithe ór, airgead, copar, alúmanam, tíotáiniam agus ábhair eile a léiríonn machnamh láidir, aistriú teasa tapa. Athraíonn frithchaiteacht miotail le himeacht ama le linn comhartha cuisle léasair. Nuair a ardaítear teocht dhromchla an ábhair go dtí an pointe leá, laghdaíonn an fhrithchaiteacht go tapa, agus nuair a bhíonn an dromchla i riocht leá, cobhsaíonn an machnamh ag luach áirithe.
3. Leithead cuisle Is paraiméadar tábhachtach é leithead cuisle i dtáthú léasair cuisle. Cinneadh leithead na cuisle de réir dhoimhneacht an treá agus an chrios teas-thionchar. Dá faide leithead na cuisle, is ea is mó an crios teas-thionchar, agus méadaíonn doimhneacht an treá le 1/2 chumhacht leithead na cuisle. Mar sin féin, laghdóidh méadú ar leithead na cuisle an chumhacht bhuaice, mar sin úsáidtear méadú ar leithead na cuisle go ginearálta le haghaidh táthú seoltachta teasa, rud a fhágann méid táthú leathan agus éadomhain, atá oiriúnach go háirithe do tháthú lap plátaí tanaí agus tiubha. Mar sin féin, bíonn ionchur teasa iomarcach mar thoradh ar chumhacht bhuaice níos ísle, agus bíonn leithead cuisle is fearr ag gach ábhar a uasmhéadaíonn treá.
4, de ghnáth bíonn méid áirithe dífhócais ag teastáil le haghaidh táthú léasair dífhócais, toisc go bhfuil dlús cumhachta fócas an léasair i lár an spota ró-ard, agus go mbíonn sé éasca galú isteach sna poill. Tá dáileadh an dlúis chumhachta sách aonfhoirmeach i ngach plána ar shiúl ón bhfócas léasair. Tá dhá mhodh dífhócais ann: dífhócas dearfach agus dífhócas diúltach. Má tá an plána fócais suite os cionn an phíosa oibre, is dífhócas dearfach é; ar shlí eile, is dífhócas diúltach é. De réir na teoirice optaice geoiméadraí, nuair a bhíonn an fad idir na plánaí dífhócais dearfacha agus diúltacha agus an plána táthúcháin cothrom, bíonn an dlús cumhachta ar an plána comhfhreagrach beagnach mar a chéile, ach bíonn cruth iarbhír an linn táthúcháin difriúil. I gcás dífhócais dhiúltaigh, is féidir treá níos mó a fháil, rud a bhaineann le próiseas foirmithe an linn leáite.
5, luas táthúcháin Cinneann luas an táthúcháin cáilíocht dhromchla an táthúcháin, an treá, an crios teasa, etc. Beidh tionchar ag luas an táthúcháin ar an ionchur teasa in aghaidh an aonaid ama. Má tá an luas táthúcháin ró-mhall, bíonn an t-ionchur teasa ró-mhór, rud a fhágann go ndóitear an píosa oibre tríd. Má tá an luas táthúcháin ró-thapa, bíonn an t-ionchur teasa ró-bheag, rud a fhágann go bhfuil an píosa oibre teimhneach. De ghnáth, úsáidtear laghdú ar luas an táthúcháin chun an treá a fheabhsú.
6, gás cosanta séidte cúnta Is próiseas riachtanach é gás cosanta séidte cúnta i dtáthú léasair ardchumhachta. Ar thaobh amháin, chun cosc a chur ar ábhair mhiotail spútaráil agus truailliú an scátháin fhócasaithe; ar an láimh eile, chun cosc a chur ar an plasma a ghintear sa phróiseas táthúcháin ó fhócasú an iomarca agus chun cosc a chur ar an léasar teacht ar dhromchla an ábhair. I bpróiseas táthúcháin léasair, úsáidtear héiliam, argón, nítrigin agus gáis eile go minic chun an linn leáite a chosaint, ionas go gcosnaítear an píosa oibre ó ocsaídiú san innealtóireacht táthúcháin. Bíonn tionchar mór ag fachtóirí cosúil le cineál an gháis chosanta, méid an tsreafa aeir agus uillinn séidte ar thoradh an táthúcháin. Bíonn tionchar áirithe ag modhanna séidte éagsúla ar cháilíocht an táthúcháin freisin.
Ní ianaíonn héiliam go héasca (tá fuinneamh ard ianúcháin aige), rud a ligeann don léasar dul tríd go réidh agus don fhuinneamh bhíoma dromchla an phíosa oibre a bhaint amach gan bhac. Is é seo an gás cosanta is éifeachtaí a úsáidtear i dtáthú léasair, ach tá an praghas sách daor. Tá argón níos saoire agus níos dlúithe, mar sin tá cosaint níos fearr aige. Mar sin féin, is furasta é a ianú le plasma miotail ardteochta, rud a chosnaíonn cuid den bhíoma ón bpíosa oibre, rud a laghdaíonn cumhacht éifeachtach léasair an táthú, ach a dhéanann damáiste freisin do luas agus do threá an táthú. Tá dromchlaí na dtáthuithe atá cosanta ag argón níos míne ná iad siúd atá cosanta ag héiliam. Is é nítrigin an gás cosanta is saoire, ach níl sé oiriúnach do chineálacha áirithe táthú cruach dhosmálta, den chuid is mó mar gheall ar fhadhbanna miotalóireachta, amhail ionsú, a chruthaíonn póireanna sa chrios lapála uaireanta.
Mar theicneolaíocht táthúcháin nua, tá tréithe ard-dlús fuinnimh, ardluais, cruinneas ard, treá domhain agus inoiriúnaitheacht láidir ag táthú léasair. Tá a chur i bhfeidhm ag éirí níos fairsinge, rud a fheabhsaíonn ní hamháin éifeachtúlacht an táirgthe, ach feabhas a chur ar cháilíocht an táthúcháin freisin. Is cinnte go mbeidh ról níos tábhachtaí ag teicneolaíocht táthúcháin léasair i réimse na próiseála ábhar.
Am an phoist: 28 Márta 2023
