Máy làm sạch plasma (máy làm sạch plasma), còn được gọi là máy làm sạch plasma hoặc thiết bị xử lý bề mặt plasma, là một công nghệ cao mới, sử dụng plasma để đạt được hiệu quả mà các phương pháp làm sạch thông thường không thể đạt được. Plasma là một trạng thái vật chất, còn được gọi là trạng thái thứ tư của vật chất, không thuộc ba trạng thái rắn-lỏng-khí thông thường. Áp dụng đủ năng lượng vào một chất khí để phân tách nó thành trạng thái plasma. Các thành phần “hoạt động” của plasma bao gồm các ion, electron, nguyên tử, nhóm hoạt động, các hạt nhân kích thích (trạng thái siêu bền), photon, v.v. Máy làm sạch plasma sử dụng các đặc tính của các thành phần hoạt động này để xử lý bề mặt mẫu, nhằm đạt được mục đích làm sạch, phủ lớp, v.v.
Vậy ưu điểm là gì? Thứ nhất, vật cần làm sạch sẽ khô ráo sau khi làm sạch bằng plasma và có thể chuyển sang công đoạn tiếp theo mà không cần sấy khô. Điều này giúp nâng cao hiệu quả xử lý của toàn bộ dây chuyền; Thứ hai, làm sạch bằng plasma giúp người dùng tránh xa các dung môi độc hại gây hại cho cơ thể, đồng thời tránh được vấn đề làm sạch ướt dễ làm trôi vật cần làm sạch; Thứ ba, tránh sử dụng trichloroethane và các dung môi độc hại khác, do đó sẽ không có chất gây ô nhiễm độc hại sau khi làm sạch, vì vậy phương pháp làm sạch này thuộc về phương pháp làm sạch xanh thân thiện với môi trường. Điều này ngày càng trở nên quan trọng trong bối cảnh toàn cầu quan tâm đến bảo vệ môi trường; Thứ tư, plasma được tạo ra bởi sóng radio tần số cao khác với ánh sáng trực tiếp như laser. Plasma không có tính định hướng cao, cho phép nó đi sâu vào các lỗ nhỏ và vết lõm của vật thể để hoàn thành nhiệm vụ làm sạch mà không cần quá quan tâm đến hình dạng của vật thể cần làm sạch. Và hiệu quả làm sạch các bộ phận khó này tương đương hoặc thậm chí tốt hơn so với làm sạch bằng freon; Thứ năm, việc sử dụng làm sạch bằng plasma có thể giúp cải thiện đáng kể hiệu quả làm sạch. Toàn bộ quy trình làm sạch có thể hoàn thành trong vài phút, do đó có đặc điểm năng suất cao; Thứ sáu, làm sạch bằng plasma cần kiểm soát độ chân không khoảng 100Pa, điều kiện làm sạch này dễ dàng đạt được. Do đó, chi phí thiết bị không cao, và quy trình làm sạch không yêu cầu sử dụng các dung môi hữu cơ đắt tiền hơn, giúp tổng chi phí thấp hơn so với quy trình làm sạch ướt truyền thống; Thứ bảy, sử dụng phương pháp làm sạch bằng plasma giúp tránh việc vận chuyển, lưu trữ, xả thải và các biện pháp xử lý khác đối với dung dịch làm sạch, do đó khu vực sản xuất dễ dàng được giữ sạch sẽ và vệ sinh; Thứ tám, làm sạch bằng plasma có thể xử lý nhiều loại vật liệu khác nhau, dù là kim loại, chất bán dẫn, oxit hay vật liệu polyme (như polypropylen, polyvinyl clorua, polytetrafluoroetylen, polyimide, polyester, nhựa epoxy và các polyme khác). Do đó, nó đặc biệt thích hợp cho các vật liệu không chịu nhiệt và không chịu dung môi. Nó cũng có thể làm sạch chọn lọc toàn bộ, một phần hoặc cấu trúc phức tạp của vật liệu; Thứ chín, ngoài việc hoàn thành quá trình làm sạch và khử trùng, nó còn có thể cải thiện hiệu suất bề mặt của chính vật liệu. Ví dụ như cải thiện khả năng thấm ướt của bề mặt, cải thiện độ bám dính của màng, v.v., điều này rất quan trọng trong nhiều ứng dụng.
Thời gian đăng bài: 28/03/2023
