ឧបករណ៍សម្អាតប្លាស្មា (ប្លាស្មាសម្អាត) ដែលត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជាឧបករណ៍សម្អាតប្លាស្មា ឬឧបករណ៍ព្យាបាលផ្ទៃប្លាស្មា គឺជាបច្ចេកវិទ្យាបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ថ្មីមួយ ដែលការប្រើប្រាស់ប្លាស្មាដើម្បីសម្រេចបាននូវប្រសិទ្ធភាពនៃវិធីសាស្ត្រសម្អាតធម្មតាមិនអាចសម្រេចបានទេ។ ប្លាស្មាគឺជាស្ថានភាពនៃរូបធាតុ ដែលត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជាស្ថានភាពទីបួននៃរូបធាតុ មិនមែនជារបស់ស្ថានភាពបីនៃរឹង-រាវ-ឧស្ម័នទូទៅនោះទេ។ អនុវត្តថាមពលគ្រប់គ្រាន់ទៅលើឧស្ម័នដើម្បីបំបែកវាទៅជាស្ថានភាពប្លាស្មា។ សមាសធាតុ "សកម្ម" នៃប្លាស្មារួមមាន អ៊ីយ៉ុង អេឡិចត្រុង អាតូម ក្រុមសកម្ម នុយក្លីដរំភើប (មេតាស្តេបល) ហ្វូតុង ជាដើម។ ម៉ាស៊ីនសម្អាតប្លាស្មាគឺត្រូវប្រើលក្ខណៈសម្បត្តិនៃសមាសធាតុសកម្មទាំងនេះដើម្បីព្យាបាលផ្ទៃនៃគំរូ ដើម្បីសម្រេចបាននូវគោលបំណងនៃការសម្អាត ការលាបពណ៌ ជាដើម។
ដូច្នេះតើអ្វីជាគុណសម្បត្តិ? ទីមួយ វត្ថុសម្អាតត្រូវស្ងួតបន្ទាប់ពីការសម្អាតប្លាស្មា ហើយវាអាចត្រូវបានបញ្ជូនទៅដំណើរការបន្ទាប់ដោយមិនចាំបាច់សម្ងួត។ អាចបង្កើនប្រសិទ្ធភាពដំណើរការនៃខ្សែដំណើរការទាំងមូល។ ទីពីរ ការសម្អាតប្លាស្មាអនុញ្ញាតឱ្យអ្នកប្រើប្រាស់នៅឱ្យឆ្ងាយពីសារធាតុរំលាយដែលបង្កគ្រោះថ្នាក់ដល់រាងកាយមនុស្ស ប៉ុន្តែក៏ជៀសវាងបញ្ហានៃការសម្អាតសើមដែលងាយស្រួលក្នុងការលាងសម្អាតវត្ថុសម្អាត។ ទីបី ជៀសវាងការប្រើប្រាស់ trichloroethane និងសារធាតុរំលាយដែលបង្កគ្រោះថ្នាក់ផ្សេងទៀត ដើម្បីកុំឱ្យមានសារធាតុបំពុលដែលបង្កគ្រោះថ្នាក់បន្ទាប់ពីសម្អាត ដូច្នេះវិធីសាស្ត្រសម្អាតនេះជាកម្មសិទ្ធិរបស់ការការពារបរិស្ថាននៃវិធីសាស្ត្រសម្អាតបៃតង។ នេះកាន់តែមានសារៈសំខាន់នៅក្នុងបរិបទនៃការព្រួយបារម្ភជាសកលសម្រាប់ការការពារបរិស្ថាន។ ទីបួន ប្លាស្មាដែលបង្កើតឡើងដោយប្រេកង់ខ្ពស់នៃជួររលកវិទ្យុគឺខុសពីពន្លឺផ្ទាល់ដូចជាឡាស៊ែរ។ ប្លាស្មាមិនមានទិសដៅខ្លាំងទេ ដែលអនុញ្ញាតឱ្យវាទៅដល់ជ្រៅទៅក្នុងរន្ធតូចៗ និងស្នាមប្រេះនៃវត្ថុមួយ ដើម្បីបំពេញភារកិច្ចសម្អាតរបស់វាដោយមិនចាំបាច់ព្រួយបារម្ភច្រើនអំពីរូបរាងរបស់វត្ថុដែលកំពុងសម្អាត។ ហើយប្រសិទ្ធភាពសម្អាតនៃផ្នែកដែលពិបាកទាំងនេះគឺស្រដៀងគ្នា ឬល្អជាងការសម្អាតហ្វ្រីអុង។ ទីប្រាំ ការប្រើប្រាស់ការសម្អាតប្លាស្មា អាចធ្វើឱ្យប្រសិទ្ធភាពសម្អាតអាចត្រូវបានកែលម្អយ៉ាងខ្លាំង។ ដំណើរការសម្អាតទាំងមូលអាចបញ្ចប់ក្នុងរយៈពេលប៉ុន្មាននាទីប៉ុណ្ណោះ ដូច្នេះវាមានលក្ខណៈនៃទិន្នផលខ្ពស់។ ប្រាំមួយ ការសម្អាតប្លាស្មាត្រូវការគ្រប់គ្រងកម្រិតបូមធូលីប្រហែល 100Pa លក្ខខណ្ឌសម្អាតនេះងាយស្រួលសម្រេចបាន។ ដូច្នេះ តម្លៃឧបករណ៍របស់ឧបករណ៍នេះមិនខ្ពស់ទេ ហើយដំណើរការសម្អាតមិនតម្រូវឱ្យប្រើប្រាស់សារធាតុរំលាយសរីរាង្គថ្លៃជាងនោះទេ ដែលធ្វើឱ្យតម្លៃសរុបទាបជាងដំណើរការសម្អាតសើមបែបប្រពៃណី។ ប្រាំពីរ ការប្រើប្រាស់ការសម្អាតប្លាស្មា ជៀសវាងការដឹកជញ្ជូន ការផ្ទុក ការបញ្ចេញ និងវិធានការព្យាបាលផ្សេងទៀតនៃសារធាតុរាវសម្អាត ដូច្នេះកន្លែងផលិតងាយស្រួលរក្សាអនាម័យ និងអនាម័យ។ ប្រាំបី ការសម្អាតប្លាស្មាអាចត្រូវបានអនុវត្តដោយមិនគិតពីការព្យាបាលវត្ថុ វាអាចដោះស្រាយជាមួយវត្ថុធាតុជាច្រើនប្រភេទ មិនថាលោហៈ ស៊ីមីកុងដុកទ័រ អុកស៊ីដ ឬវត្ថុធាតុប៉ូលីមែរ (ដូចជាប៉ូលីភីលីន ប៉ូលីវីនីលក្លរួ ប៉ូលីតេត្រាហ្វ្លុយអូរ៉ូអេទីឡែន ប៉ូលីអ៊ីមីត ប៉ូលីអេស្ទ័រ ជ័រអេផូស៊ី និងប៉ូលីមែរផ្សេងទៀត) អាចត្រូវបានប្រើដើម្បីដោះស្រាយជាមួយប្លាស្មា។ ដូច្នេះវាសមស្របជាពិសេសសម្រាប់វត្ថុធាតុដែលមិនធន់នឹងកំដៅ និងធន់នឹងសារធាតុរំលាយ។ វាក៏អាចសម្អាតរចនាសម្ព័ន្ធទាំងមូល ផ្នែក ឬស្មុគស្មាញនៃវត្ថុធាតុបានផងដែរ។ ប្រាំបួន ក្នុងការបញ្ចប់ការសម្អាតការបំពុលក្នុងពេលតែមួយ ប៉ុន្តែក៏អាចបង្កើនប្រសិទ្ធភាពផ្ទៃនៃសម្ភារៈផងដែរ។ ដូចជាការកែលម្អភាពសើមនៃផ្ទៃ ការកែលម្អភាពស្អិតនៃខ្សែភាពយន្តជាដើម ដែលមានសារៈសំខាន់ខ្លាំងណាស់នៅក្នុងកម្មវិធីជាច្រើន។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៨ ខែមីនា ឆ្នាំ ២០២៣
